采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。

对气态有机污染物的降解机理有足够的能量来产生自由基，引发一系列复杂的物理、化学反应。由低 温 等 离子体引起的气体有机物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子.分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态有机物中的化学键发生断裂，从而使其降解。

        从净化空气效率考虑，我们选择了电晕电流较高化装置采用脉冲电晕放电低温等离子体与吸附技术相结合的原理对有害气体进行消除，其中低温等离子体主要用来去除硫化氢、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、丙酮、尿烷、树脂、等气体及消毒灭菌，吸附材料主要用于去除二氧化碳以及臭氧等副产物。净化 装 置 由 初 滤单元、低温等离子体发生器及过滤单元、风机等设备和部件组成。

初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子。当能量超过氧分子的电离电位时氧分子迅速离子化。失去电子的氧分子变成正极性氧离子（O2+），而释放的电子又与另一中性氧分子结合变成负极性氧离子（O2－），结果是氧离子的两级分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2－、O2等氧聚集的离子群，具有极强的氧化性，可在很短的时间内将污染空气中的有害成分氧化分解为无害的产物和水。

光氧催化工作原理：

利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射恶臭气体，裂解恶臭气体如：磷化氢、氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H₂S、VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO、H₂O等。

1、利用同波段UV紫外线光束与二氧化钛板发生光触煤效应，有效裂变、氧化污染气体。

2、利用高能高臭氧气UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O₂→O-+O*（活性氧）O+O₂→O₃（臭氧），众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。

3、恶臭气体利用排风设备输入到本动净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其降解转化成低分妇化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。

4、利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DHA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的。